爱发科上市汽车部件叶片式溅镀装置

爱发科（ULVAC）将于2006年10月上市前后工序可连续处理的真空溅镀装置“SPV-1000N”。主要在生产前照灯及后组合灯使用的反射镜、仪表壳及车门把手等汽车部零件时使用。可以处理原来需要利用其它装置进行处理的前工序（底层涂装），减少了生产线的设置空间。价格约为1亿5000万日元。该公司预计订单量2006年为5台、2007年为10台。

该装置主要用于为树脂成形产品等增加光反射功能。具体来说，首先通过离子聚合在树脂成形产品上形成厚5～20nm的氧化硅（SiOx）底膜（底层涂装），然后在底膜上溅镀厚100～ 00nm的铝（或铬）反射膜，最后再通过离子聚合覆盖厚20～100nm的氧化硅保护膜（表层涂装）。新型溅镀装置可对这 道工序进行连续处理。

虽然该公司的已经有某些产品可对溅镀和表层涂装进行连续处理7月以来，不过对表层涂装也可连续处理却是首次。原来为了对表层涂装和溅镀进行连续处理，一直采取在确保真空环境的情况下连接两台装置的做法。虽然此前也有涂装树脂成形品、待表面干燥后再进行溅镀，以替代底层涂装的方法，不过这种方法在涂装工序的成品率方面却存在较大瓶颈。另外，由于干燥工序采用的是成批处理，所以还存在需要为半成品准备放置场所的问题。

而新型溅镀装置则采用半成品的出入口、底层涂装舱、溅镀舱及表层涂装舱围在芯腔四面的构造。中央配备有带伸缩臂的旋转机构，可将半成品夹在各伸缩臂前端的夹具上。当夹具夹着半成品进入各舱后，各舱就会被封闭。

溅镀工序采用根据对象材料的大小一直摇动阴极磁铁的方法。这一方法不仅能够延长对象材料的寿命这都与他上个赛季的状态形成了鲜明对比。12月初，而且还可提高对象材料的使用效率。

该公司将在“VACUUM 2006-真空展”（2006年9月1 ～15日，东京有明国际展览中心）上展出该新型溅镀装置。